首页 产品中心 产品列表 Y.A.C. 干蚀刻设备

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YAC干蚀刻设备代理贩售、组装调试、售后服务
机台所有零件的贩售
零件的维修服务（Matching Box，Chiller，Gate Valve，Vacuum Robot，电极再生等）
机台现场的维修服务
机台软件/硬件改造需求


腔室类型：多腔式

制程模块：最多5个腔室

基板尺寸：最小300mm× 400mm 最大2200mm×2500mm

Plasma类型： ICP（高密度Plasma） RIE（反应性Ion Etching） 

基板固定方式：ESC（静电Chuck）

冷却方式：He气体压力控制


YAC干蚀刻设备使用了新开发的等离子技术，主要用于FPD制造。

主要对应LTPS、OLED、TAOS、智能手机、TV、显示器等的高精细加工，是促进制造过程效率化，提高生产率的绝佳设备。

主要应用领域：
FPD、光学器件、MEMS、印刷电路基板、FOPLP、光掩模等；各种硅薄膜、各种金属薄膜微细加工；
抗蚀剂及有机膜剥离；DISCOM、等离子清洗；小型基板批量处理等


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